在東北老工業(yè)基地遼寧，以半導(dǎo)體為主業(yè)的遼籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科儀、現(xiàn)有業(yè)務(wù)囊括半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)的新松機(jī)器人、擬上市企業(yè)和研科技等，遼籍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群已經(jīng)初具規(guī)模。

遼寧半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)初具規(guī)模 相關(guān)公司/供圖?

(資料圖)

近日，證券時(shí)報(bào)記者實(shí)地采訪時(shí)了解到，借助資本市場的力量，遼寧半導(dǎo)體企業(yè)發(fā)展速度得到進(jìn)一步提升，遼寧有望成為國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的“第三極”。預(yù)計(jì)到2024年，遼寧沈陽的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值將會(huì)超過100億元。

迎來收獲期

據(jù)遼寧省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長、富創(chuàng)精密董事長兼總經(jīng)理鄭廣文介紹，早在本世紀(jì)初期，遼寧省相關(guān)政府部門、學(xué)界人士和企業(yè)家通過反復(fù)討論達(dá)成共識(shí)，將半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)確定為發(fā)展方向，經(jīng)過20多年的不懈努力，厚積薄發(fā)，如今終于迎來收獲期。

程龍目前擔(dān)任新松機(jī)器人半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人，在新松機(jī)器人內(nèi)部，程龍和他的半導(dǎo)體裝備團(tuán)隊(duì)被寄予厚望。

“目前，公司半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用已初具規(guī)模，產(chǎn)品包括大氣機(jī)械手、真空機(jī)械手等系列產(chǎn)品，以及設(shè)備前端模塊（EFEM）、真空傳輸平臺(tái)，主要應(yīng)用于薄膜、離子注入等工藝環(huán)節(jié)及領(lǐng)域，廣泛服務(wù)于硅片生產(chǎn)、晶圓加工、先進(jìn)封裝及封裝測試等半導(dǎo)體制造全產(chǎn)業(yè)鏈，服務(wù)的下游行業(yè)主要是半導(dǎo)體工藝設(shè)備廠商?！背听埾蜃C券時(shí)報(bào)記者表示。新松機(jī)器人的全資子公司沈陽新松半導(dǎo)體設(shè)備有限公司主營為半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)，以子公司經(jīng)營平臺(tái)的形式獨(dú)立發(fā)展，意味著該公司將集中人才、資金等優(yōu)質(zhì)資源，為半導(dǎo)體子公司賦能，加速使其發(fā)展成為公司支柱業(yè)務(wù)之一。

在遼寧省上市公司當(dāng)中，芯源微、神工股份、拓荊科技、富創(chuàng)精密、連城數(shù)控等5家公司的主業(yè)均是與半導(dǎo)體相關(guān)。其中，芯源微是國內(nèi)唯一能夠提供前道量產(chǎn)型涂膠顯影設(shè)備的廠商，同時(shí)，其在前道物理清洗、后道先進(jìn)封裝及化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域也都保持著國內(nèi)細(xì)分市場的龍頭地位；拓荊科技是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路PECVD、SACVD、HDPCVD設(shè)備廠商，也是國內(nèi)領(lǐng)先的ALD設(shè)備廠商；富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè)；神工股份主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用單晶硅材料等；連城數(shù)控是光伏及半導(dǎo)體行業(yè)所需晶體材料生長、加工設(shè)備及核心技術(shù)等多方面支持的集成服務(wù)商。另外，新三板掛牌企業(yè)中科儀是國內(nèi)唯一在集成電路領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)批量應(yīng)用的干式真空泵企業(yè)；擬上市公司和研科技主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用劃片設(shè)備等。

鄭廣文說，遼寧省半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)目前已處于國內(nèi)第一陣營，在該領(lǐng)域的優(yōu)勢十分明顯。

“近20余年來，遼寧推動(dòng)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，集聚和培育出了一批優(yōu)勢骨干企業(yè)，如今這些半導(dǎo)體企業(yè)終于迎來厚積薄發(fā)。繼上海及周邊地區(qū)、京津冀地區(qū)之后，遼寧省已經(jīng)成為國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)‘第三極’?！背听埥榻B。

值得注意的是，遼寧省的半導(dǎo)體企業(yè)之間有著較為緊密的聯(lián)系，鄭廣文系芯源微董事，鄭廣文旗下的沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司是芯源微第一大股東，中科儀系拓荊科技的股東。

“遼寧省的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在近年來發(fā)展速度很快，一個(gè)重要原因是這些企業(yè)抱團(tuán)發(fā)展，而非各自為戰(zhàn)。”鄭廣文認(rèn)為。

解析產(chǎn)業(yè)鏈

遼寧省擁有相對完整的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈。據(jù)遼寧省社科院產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)研究所副所長姜瑞春介紹，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游包括零部件、材料和控制單元，目前遼寧擁有富創(chuàng)精密、新松機(jī)器人、中科儀、沈陽硅基、中科博微等上游企業(yè)，能夠供應(yīng)反應(yīng)腔、真空干泵、機(jī)械手、控制軟件、SOI材料等零部件和控制系統(tǒng)。

“遼寧省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在精密零部件領(lǐng)域完成了精密切削、精密表面處理、特種焊接技術(shù)研發(fā)，特種表面處理生產(chǎn)線國際一流、亞洲第一，核心技術(shù)打破了國外對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)封鎖。真空獲得與應(yīng)用技術(shù)、晶體生長關(guān)鍵技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。真空密封技術(shù)攻克了技術(shù)難關(guān)，達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平?！苯鸫罕硎尽?/p>

據(jù)介紹，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中游為整機(jī)設(shè)備制造商，目前遼寧省擁有芯源微、拓荊科技、儀表院等企業(yè)，可以進(jìn)行薄膜設(shè)備、涂膠顯影機(jī)、劃片機(jī)等半導(dǎo)體整機(jī)制造和系統(tǒng)集成。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應(yīng)用于集成電路制造、封測企業(yè)，目前遼寧從事集成電路制造的企業(yè)主要是中電科第47所和儀表院等研究部門。

證券時(shí)報(bào)記者在采訪中獲悉，“十三五”期間，遼寧省沈陽市的IC裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)連續(xù)五年穩(wěn)定快速增長，年均增長率達(dá)到10.1%，已經(jīng)形成了“一項(xiàng)控制系統(tǒng)技術(shù)、八類重要整機(jī)裝備、一批關(guān)鍵單元部件和一個(gè)精密零部件支撐平臺(tái)”的配套體系和批量生產(chǎn)能力。

在遼寧省相關(guān)上市公司當(dāng)中，富創(chuàng)精密目前已經(jīng)成為全球?yàn)閿?shù)不多的能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商。芯源微前道涂膠顯影機(jī)與各廠家主要技術(shù)節(jié)點(diǎn)的國際主流光刻機(jī)都能聯(lián)機(jī)量產(chǎn)，特別是28納米浸沒式涂膠顯影機(jī)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)28納米及以上制程工藝的全覆蓋。PECVD 設(shè)備是拓荊科技的核心產(chǎn)品，也是芯片制造的核心設(shè)備之一，拓荊科技已經(jīng)形成了覆蓋全系列 PECVD 薄膜材料的設(shè)備。新松機(jī)器人是國內(nèi)領(lǐng)先的真空機(jī)械手及集束型設(shè)備的生產(chǎn)制造商。連城數(shù)控第三代半導(dǎo)體碳化硅長晶設(shè)備已形成批量訂單，磨床、滾圓機(jī)等晶體加工設(shè)備已經(jīng)在客戶端形成批量訂單。

遼寧省半導(dǎo)體企業(yè)發(fā)展勢頭很快。2022年，拓荊科技營收同比增長125.02%、凈利潤同比增長438.09%；富創(chuàng)精密營收和凈利分別同比增長83.18%和94.19%；芯源微營收和凈利分別同比增長67.12%和158.77%。相關(guān)上市公司的業(yè)務(wù)增速很快，不過體量仍然不是很大。2022年，芯源微、拓荊科技、富創(chuàng)精密分別實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入13.85億元、17.06億元、15.44億元。

“遼寧省的半導(dǎo)體裝備企業(yè)主要集中在沈陽市，芯源微、拓荊科技、富創(chuàng)精密、中科儀、和研科技和新松機(jī)器人等素有‘六小虎’之稱?！编崗V文介紹，預(yù)計(jì)到2024年，遼寧省沈陽市半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的總產(chǎn)值將會(huì)超過100億元。

據(jù)了解，截至2022年12月31日，拓荊科技在手銷售訂單金額為46億元（不含Demo訂單），2022年簽訂銷售訂單金額為43億元（不含Demo訂單）。截至2023年3月末，連城數(shù)控設(shè)備類產(chǎn)品在手訂單金額為72.6億元左右。2022年，芯源微新簽訂單22億元。

借力資本市場

科創(chuàng)板的推出、北交所的成立，為遼寧省半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)上市目標(biāo)提供了重要的發(fā)展契機(jī)。以芯源微為例，2019年上市時(shí)的年收入為2.1億元，2022年已經(jīng)增長至13.8億元，年復(fù)合增長率達(dá)到87.3%。芯源微在上市之后實(shí)施了股權(quán)激勵(lì)政策，已經(jīng)有共計(jì)139人次的核心技術(shù)人員和管理骨干得到股權(quán)激勵(lì)。面對半導(dǎo)體市場發(fā)展過熱和挖角跳槽，芯源微在團(tuán)隊(duì)穩(wěn)定和潛力研發(fā)方面具有高度的穩(wěn)定性，在穩(wěn)定住自己團(tuán)隊(duì)的同時(shí)，還吸引了國內(nèi)外高端人才的加盟，得以持續(xù)提升研發(fā)能力、開拓國際視野。

連城數(shù)控相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴證券時(shí)報(bào)記者，公司在北交所上市給公司帶來明顯的引領(lǐng)帶動(dòng)效應(yīng)，主要體現(xiàn)在公司資源獲取和整合能力加強(qiáng)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游、金融資本、科研院所的協(xié)同合作更加緊密；擴(kuò)展了公司融資途徑，融資成本降低；公眾形象和品牌知名度提高，公信力獲得社會(huì)廣泛認(rèn)可；有效實(shí)現(xiàn)了核心員工長期激勵(lì)，對人才尤其是高端人才吸引力增強(qiáng)；內(nèi)部管理流程不斷優(yōu)化，公司治理結(jié)構(gòu)不斷完善。

拓荊科技董事會(huì)秘書趙曦說，公司IPO募集資金22億元，為公司的高質(zhì)量發(fā)展提供了有力的資金支持。公司上市后，持續(xù)加大產(chǎn)品研發(fā)投入的強(qiáng)度，提升技術(shù)研發(fā)水平，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化，產(chǎn)品競爭力持續(xù)增強(qiáng)，業(yè)務(wù)規(guī)模維持高增長趨勢。

有業(yè)內(nèi)人士指出，隨著A股市場進(jìn)入全面注冊制時(shí)代，遼寧省應(yīng)該進(jìn)一步發(fā)揮資本市場的資源配置功能，促進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新和轉(zhuǎn)化就用，推動(dòng)遼寧省壯大優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體企業(yè)群體。

姜瑞春表示，遼寧省半導(dǎo)體上市企業(yè)目前已經(jīng)開始發(fā)揮巨大的集聚帶動(dòng)作用，這些企業(yè)吸引了一大批加工配套和上下游關(guān)聯(lián)企業(yè)，進(jìn)一步提高了產(chǎn)業(yè)集聚度、擴(kuò)大了產(chǎn)業(yè)規(guī)模、拉長了產(chǎn)業(yè)鏈條，從而加速了地區(qū)產(chǎn)業(yè)集群化發(fā)展，形成不同的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，為遼寧省經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展帶來巨大的發(fā)展新動(dòng)能。

“未來遼寧省應(yīng)該不斷把握資本市場改革節(jié)奏，充分激發(fā)遼寧省在智能裝備制造、半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)底蘊(yùn)和科技優(yōu)勢，把儲(chǔ)備上市資源、推動(dòng)企業(yè)上市與遼寧省創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展、‘?dāng)?shù)字遼寧、智造強(qiáng)省’建設(shè)等重大戰(zhàn)略部署統(tǒng)籌謀劃，推動(dòng)遼寧半導(dǎo)體板塊在資本市場上快速擴(kuò)容。”姜瑞春認(rèn)為。

產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢何在

在很多人的印象當(dāng)中，遼寧省作為老工業(yè)基地，支柱產(chǎn)業(yè)以重工業(yè)為主，似乎很難將其與半導(dǎo)體這類戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)聯(lián)系在一起。

談及遼寧省為何能夠發(fā)展起半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)時(shí)，姜瑞春說，遼寧省工業(yè)基礎(chǔ)雄厚，具備能夠生產(chǎn)大國重器、保障國防安全的特色產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢，這也成為該省發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要優(yōu)勢。當(dāng)前遼寧省產(chǎn)業(yè)門類完整性、工業(yè)體系完備性仍居全國領(lǐng)先水平，在國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)的41個(gè)工業(yè)大類中擁有40個(gè)（缺少其他采礦業(yè)），207個(gè)工業(yè)中類中擁有197個(gè)。遼寧省在新材料、精細(xì)化工、高端裝備制造、半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備和工業(yè)基礎(chǔ)軟件等領(lǐng)域具備產(chǎn)業(yè)底蘊(yùn)和科技優(yōu)勢，具備在這些領(lǐng)域解決一批重大難題的基礎(chǔ)和優(yōu)勢，在提升我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定性和競爭力上發(fā)揮重要作用。

“遼寧省擁有大批高素質(zhì)的工程師人才和優(yōu)秀的產(chǎn)業(yè)工人，具有濃厚的工業(yè)文化，具備發(fā)展半導(dǎo)體等精密裝備產(chǎn)業(yè)集群的深厚根基?！编崗V文認(rèn)為。

趙曦說，遼寧省擁有多個(gè)高等院校，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展提供了重要的人才資源。

據(jù)了解，遼寧省作為科教大省，科教資源密集，有高校100多所，其中“雙一流”高校4所。遼寧科研機(jī)構(gòu)眾多，共有1652家，包括中科院所屬的大連化學(xué)物理研究所、金屬研究所、沈陽應(yīng)用生態(tài)研究所、沈陽自動(dòng)化研究所等6家，這些都為遼寧省發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了重要的“智力”支持，遼寧上市半導(dǎo)體企業(yè)均與省內(nèi)科研院所和大學(xué)建立了密切的產(chǎn)學(xué)研合作。

值得一提的是，在一些遼寧省半導(dǎo)體企業(yè)身上可以看到“中科院基因”。例如，芯源微是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)立的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè); 新松機(jī)器人是中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所控股的創(chuàng)業(yè)板上市公司；中科儀的全稱是中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司，持股35.21%的大股東國科科儀控股有限公司系中國科學(xué)院控股有限公司 100%控股企業(yè)，后者由中國科學(xué)院100%持股;富創(chuàng)精密第一大股東是沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司，中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所曾是后者的主要發(fā)起股東，于2013年退出。

“像中科院這種科研院所對于地方相關(guān)產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用非常明顯?！背听埍硎尽?/p>

短板有待補(bǔ)齊

雖然近年來遼寧省的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出快速發(fā)展的態(tài)勢，但是同國內(nèi)一些經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)區(qū)域相比，還存在一些短板有待補(bǔ)齊。

據(jù)姜瑞春介紹，遼寧省發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，首先面臨的就是資金瓶頸問題。目前，遼寧半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于發(fā)展壯大的關(guān)鍵期，迫切需要金融資本快速跟進(jìn)。金融機(jī)構(gòu)針對半導(dǎo)體企業(yè)政策創(chuàng)新不足，使得融資難、融資貴等問題造成企業(yè)產(chǎn)業(yè)化速度緩慢。

其次是半導(dǎo)體市場競爭壓力不斷加大。國產(chǎn)設(shè)備整體水平落后于國外，在激烈的市場競爭中不占優(yōu)勢，國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入主流產(chǎn)線壓力較大。

最后是專業(yè)人才短缺。掌握核心技術(shù)的高端人才是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵，目前遼寧乃至全國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域均存在人才缺口，而東北地區(qū)限于經(jīng)濟(jì)發(fā)展水平對人才吸引力有限。

“解決現(xiàn)階段遼寧省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中面臨的問題和不足，需要相關(guān)政府部門和金融機(jī)構(gòu)等進(jìn)行聯(lián)動(dòng)?！苯鸫赫f，在解決資金瓶頸方面，應(yīng)該加強(qiáng)專項(xiàng)資金配套、科研攻關(guān)、技改貸款貼息、人才引進(jìn)等支持力度。通過加強(qiáng)與金融機(jī)構(gòu)互信合作，推進(jìn)銀行、保險(xiǎn)、擔(dān)保等各類金融機(jī)構(gòu)對重點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)的支持力度，培育優(yōu)勢企業(yè)上市及發(fā)債融資。對有基礎(chǔ)、有特色、有優(yōu)勢的重點(diǎn)領(lǐng)域試行專項(xiàng)支持政策。

面對日益加大的市場競爭，遼寧省應(yīng)該以半導(dǎo)體整機(jī)裝備、零部件、材料為重點(diǎn)，打造國家半導(dǎo)體裝備制造產(chǎn)業(yè)基地。以推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)為主線，做大做強(qiáng)一批整機(jī)裝備和關(guān)鍵零部件制造企業(yè)。改變國產(chǎn)半導(dǎo)體整機(jī)裝備和零部件基礎(chǔ)能力薄弱和關(guān)鍵技術(shù)受制于人的現(xiàn)狀，引領(lǐng)遼寧半導(dǎo)體裝備制造業(yè)向高端化轉(zhuǎn)型升級(jí)。

“為了解決人才短缺問題，遼寧省應(yīng)該以半導(dǎo)體裝備為重點(diǎn)，放寬高級(jí)人才認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，加大高端人才獎(jiǎng)勵(lì)力度?！苯鸫赫f。

一位遼寧省當(dāng)?shù)厝耸勘硎?，長三角地區(qū)、京津冀地區(qū)都有具備全國影響力的晶圓制造和封裝企業(yè)，能夠與產(chǎn)業(yè)鏈上游的設(shè)備、設(shè)計(jì)企業(yè)密切互動(dòng)，有利于設(shè)備和材料企業(yè)的快速驗(yàn)證和技術(shù)迭代，形成產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)和良性發(fā)展。目前遼寧省內(nèi)的英特爾/海力士對產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈的拉動(dòng)力度較弱，需要政府層面進(jìn)一步加大政策傾斜和招商力度，吸引有影響力的晶圓和封裝企業(yè)落地，這事關(guān)遼寧省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長遠(yuǎn)發(fā)展。

“與上述區(qū)域相比，遼寧的產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項(xiàng)資金和政府產(chǎn)業(yè)引導(dǎo)基金相對較少，在重大應(yīng)用示范、重大關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)、重大支撐體系建設(shè)等方面上扶持力度還顯不足?！边@位人士說，近年來，遼寧省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)人才流失嚴(yán)重，長期看必然會(huì)損害遼寧省發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的人才基礎(chǔ)，需要引起相關(guān)政府部門的高度重視。 （證券時(shí)報(bào)記者 孫憲超）

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