經(jīng)濟(jì)觀察報(bào) 記者 沈怡然 5月23日，日本政府出臺(tái)半導(dǎo)體制造設(shè)備出口管制措施，將先進(jìn)芯片制造設(shè)備等23個(gè)品類列入出口管理的管制對(duì)象，新規(guī)將于7月23日正式生效。

(資料圖)

時(shí)間還剩下兩個(gè)月。

5月31日，一位國(guó)內(nèi)晶圓廠人士對(duì)記者稱，很多晶圓廠人士直到這次禁令才恍然意識(shí)到日系設(shè)備也藏著巨大風(fēng)險(xiǎn)。一直以來(lái)美國(guó)對(duì)半導(dǎo)體的禁令，導(dǎo)致業(yè)內(nèi)在建廠時(shí)著重評(píng)估美系設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)，評(píng)估日系風(fēng)險(xiǎn)的較少，甚至有人會(huì)加大由美系向日韓系設(shè)備的替換，包括從海外二手市場(chǎng)采購(gòu)日系設(shè)備的動(dòng)作都在增加。

中國(guó)是世界最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，也是日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最大出口市場(chǎng)，日本半導(dǎo)體優(yōu)勢(shì)在于生產(chǎn)設(shè)備和原材料，每年對(duì)華出口額超過(guò)100億美元。

相較于終端和芯片的設(shè)計(jì)，芯片制造是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的短板。日本企業(yè)（中國(guó)）研究院執(zhí)行院長(zhǎng)陳言對(duì)記者表示，本次出口管制是日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域最嚴(yán)格、最全面的一次。相比美國(guó)對(duì)中國(guó)實(shí)施的實(shí)體清單等出口管制措施，日本的措施更沖擊產(chǎn)業(yè)發(fā)展的根基，因?yàn)槊绹?guó)企業(yè)擅長(zhǎng)芯片設(shè)計(jì)及成品，而日本企業(yè)擅長(zhǎng)芯片的生產(chǎn)設(shè)備和原材料。

一位國(guó)內(nèi)晶圓廠人士對(duì)記者表示，清單所涵蓋的23項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備主要用于半導(dǎo)體的前道生產(chǎn)，也就是在一個(gè)空白的硅片上完成電路加工的過(guò)程，后續(xù)封裝的工具不在此內(nèi)；從設(shè)備的描述看出，都是日本企業(yè)最擅長(zhǎng)的部分，但并不涵蓋生產(chǎn)的所有，通常一條晶圓生產(chǎn)線需要半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)約有上百種。

清單雖未明確說(shuō)明設(shè)備適用的制程節(jié)點(diǎn)，記者從相關(guān)律師、晶圓廠人士處獲悉，但從具體設(shè)備的描述，以及從過(guò)往日本所限制的物項(xiàng)來(lái)看，指向的是先進(jìn)工藝半導(dǎo)體所需的設(shè)備。產(chǎn)業(yè)通常以14nm為分界線，將芯片制造分為先進(jìn)和成熟兩種工藝，制程越小，工藝越先進(jìn)。

針對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體

本次有23個(gè)半導(dǎo)體相關(guān)品類被列入管制對(duì)象，包含1項(xiàng)熱處理設(shè)備、3項(xiàng)清洗設(shè)備、4項(xiàng)光刻/曝光設(shè)備、3項(xiàng)刻蝕設(shè)備、1項(xiàng)測(cè)試設(shè)備和11項(xiàng)薄膜沉積設(shè)備。

公開資料看，上述23類設(shè)備中，光刻設(shè)備的生產(chǎn)以尼康和佳能為主，涂膠顯影設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備、沉積設(shè)備以東京電子為主。

在設(shè)備方面，根據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司VLSIResearch調(diào)研，2020年日本有7家企業(yè)被列為全球前15大半導(dǎo)體設(shè)備廠商。中國(guó)一直是日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商重要收入來(lái)源地區(qū)。

群益證券分析，清單在光刻機(jī)方面限制ArFi及更先進(jìn)制程設(shè)備，其他設(shè)備整體對(duì)應(yīng)工藝制程14nm及以下。中信證券分析，在受限的4項(xiàng)光刻設(shè)備中涉及EUV，EUV光刻機(jī)（僅荷蘭ASML提供）的采購(gòu)國(guó)內(nèi)長(zhǎng)期受限，所以日本限制的是EUV配套產(chǎn)品并沒有實(shí)質(zhì)影響。但同時(shí)，ArF浸沒式光刻機(jī)日本尼康有相關(guān)產(chǎn)品也受到限制，未來(lái)需觀察許可實(shí)際發(fā)放情況。

上述晶圓廠人士稱，目前全國(guó)各地興建的晶圓廠至少有數(shù)百家，真正從事先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)的并不多，目前看成熟工藝產(chǎn)線暫時(shí)不會(huì)受到影響，具備先進(jìn)工藝生產(chǎn)能力企業(yè)的擴(kuò)產(chǎn)會(huì)受到一定影響，國(guó)內(nèi)約有4-5家，每家企業(yè)有不止一條先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)線。

突破原有出口管制框架

日本一直在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)嵤┏隹诠苤普撸瑫r(shí)日本也是瓦森納安排的成員國(guó)之一，其半導(dǎo)體設(shè)備也需要遵守相應(yīng)的出口管制的協(xié)調(diào)性安排。北京市環(huán)球律師事務(wù)所上海分所合伙人趙德銘表示，由于上述設(shè)備與裝置大部分尚沒有列入瓦森納安排項(xiàng)下兩用物項(xiàng)清單，例如多項(xiàng)薄膜沉積設(shè)備并不在該清單的第3類“電子類產(chǎn)品”項(xiàng)下，因而可以看出，這已經(jīng)完全突破了多邊瓦森納安排的框架，屬于單邊的、在經(jīng)濟(jì)上的戰(zhàn)略對(duì)抗。

本次管制措施并非專門針對(duì)中國(guó)，而是針對(duì)所有地區(qū)。趙德銘表示，實(shí)質(zhì)上日本與美國(guó)一樣有個(gè)出口管制國(guó)別清單，對(duì)于所謂的友好國(guó)家，免于申領(lǐng)許可證，對(duì)于其他國(guó)家（包括中國(guó)，日本針對(duì)中國(guó)實(shí)行軍品禁運(yùn)政策），則需要出口許可，鑒于中國(guó)巨大的進(jìn)口需求，可以看出本次管制對(duì)中國(guó)的針對(duì)性很強(qiáng)。

趙表示，根據(jù)日本《外匯及外國(guó)貿(mào)易法》及其規(guī)定，違反相關(guān)出口管制規(guī)定，未經(jīng)許可出口管制物項(xiàng)或技術(shù)，視情節(jié)嚴(yán)重程度，可能受到刑事處罰，行政處罰或者警告。

刑事處罰主要包括有期徒刑，公司最高可被罰款10億日元，個(gè)人最高可被罰款3000萬(wàn)日元。前述罰金少于違法物項(xiàng)的五倍的，按照五倍判罰；行政處罰是違法者可被禁止在3年內(nèi)從事出口活動(dòng)；另外，日本經(jīng)濟(jì)貿(mào)易產(chǎn)業(yè)省可在其認(rèn)為合適的情況下對(duì)違法者發(fā)出公開警告。

很多中企和日企是長(zhǎng)期采購(gòu)關(guān)系，新規(guī)的管制范圍是否涵蓋過(guò)去已采購(gòu)的設(shè)備及設(shè)備維護(hù)？

對(duì)此，趙德銘表示，新規(guī)本身并未明確這一問題，但我們注意到有新聞曾透露更早之前美國(guó)、日本和荷蘭的三方半導(dǎo)體出口管制協(xié)議擬計(jì)劃將售后維修環(huán)節(jié)也納入管制范疇，即不允許為在規(guī)則生效前運(yùn)往中國(guó)的產(chǎn)品提供維護(hù)服務(wù)。

趙德銘表示，從出口管制的監(jiān)管邏輯上來(lái)看，出口管制的是管制物項(xiàng)（含商品、技術(shù)、軟件和服務(wù)）的跨境轉(zhuǎn)移，在新的管制生效后，除非有例外規(guī)定，涉及管制物項(xiàng)的維護(hù)、維修服務(wù)等活動(dòng)，在日本出口管制制度下可能構(gòu)成管制技術(shù)出口而通常受到出口管制，不論所需維護(hù)的產(chǎn)品出口是否在先或者在后。但是，就具體的維修，日本廠家理論上可以申請(qǐng)?jiān)S可證。申請(qǐng)是否成功得看日本政府的國(guó)際政策考量與具體政策把握，可能隨時(shí)發(fā)生變化。

但是也應(yīng)該看到，日本與歐盟一樣，并沒有美國(guó)出口管制意義上嚴(yán)格的“再出口”管制以及對(duì)于在日本之外所生產(chǎn)的物項(xiàng)（外國(guó)生產(chǎn)物項(xiàng)）的管制，同時(shí)對(duì)于外國(guó)企業(yè)和個(gè)人，只有按照最終用戶黑名單制度。因此對(duì)于在華企業(yè)而言，對(duì)于日本原產(chǎn)的半導(dǎo)體物項(xiàng)，客觀上并不是全然沒有供應(yīng)鏈渠道，只是渠道可能更加收窄。更為關(guān)鍵的問題仍是物項(xiàng)進(jìn)口后的售后維護(hù)問題，這將考驗(yàn)各方的政治以及經(jīng)濟(jì)智慧。

陳言認(rèn)為，本次出口管制會(huì)對(duì)中日兩國(guó)，乃至全球范圍的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)形成長(zhǎng)期效應(yīng)。日本半導(dǎo)體也遵循著規(guī)模效應(yīng)、長(zhǎng)回報(bào)周期的規(guī)律，失去一部分中國(guó)市場(chǎng)，會(huì)減慢日企收回研發(fā)成本的速度，那么每一代設(shè)備投資都會(huì)拉長(zhǎng)，技術(shù)革新速度也會(huì)減慢。

國(guó)產(chǎn)機(jī)遇

芯片制造是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的短板。制造又分為前道和后道環(huán)節(jié)，相比之下，中國(guó)在前道設(shè)備上的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程更弱，而本次受限的日系設(shè)備全部來(lái)自于前道環(huán)節(jié)。

東吳證券分析，收入口徑下，2022年11家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計(jì)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入376億元，同比增長(zhǎng)53%，對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)整體國(guó)產(chǎn)化率約22%。細(xì)分領(lǐng)域來(lái)看，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在清洗、熱處理、CMP、刻蝕設(shè)備等領(lǐng)域已取得一定市場(chǎng)份額。然而，對(duì)于光刻、測(cè)量/檢測(cè)、涂膠顯影、離子注入設(shè)備等領(lǐng)域，預(yù)估2022年國(guó)產(chǎn)化率仍低于10%，國(guó)產(chǎn)替代空間較大。

根據(jù)東吳證券數(shù)據(jù)，2022年國(guó)內(nèi)的華虹無(wú)錫廠多款設(shè)備招標(biāo)整體國(guó)產(chǎn)化率不足20%。其中清單上的薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率10%，檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備2%，光刻和涂膠顯影設(shè)備為0。

但仍然有少數(shù)企業(yè)在該領(lǐng)域做出了成果。芯源微專注國(guó)產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備，公司表示前道涂膠顯影設(shè)備已完成在晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點(diǎn)全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級(jí)迭代。

中微公司的刻蝕設(shè)備已經(jīng)做到5nm節(jié)點(diǎn)。北方華創(chuàng)的業(yè)務(wù)涵蓋多項(xiàng)清單內(nèi)設(shè)備，包括刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備。2022年公司電子工藝設(shè)備收入121億元，毛利率為37.7%，較上年提升4.7個(gè)百分點(diǎn)。

一位從事半導(dǎo)體耗材的人士對(duì)記者稱，禁令會(huì)在一定程度上加快國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程，比如客戶會(huì)加強(qiáng)國(guó)貨的招標(biāo)或者備選，提供一些機(jī)遇。但是相比芯片本身，芯片在設(shè)備和耗材上的國(guó)產(chǎn)替代其實(shí)是更艱難的過(guò)程，這里遵循贏者通吃的產(chǎn)業(yè)規(guī)律，客戶生意是黏性很強(qiáng)的，很多本土晶圓廠多年來(lái)已經(jīng)和海外供應(yīng)商已經(jīng)達(dá)成強(qiáng)綁定關(guān)系。

該人士稱，對(duì)于一家新供應(yīng)商，客戶要承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn)大于收益，產(chǎn)品需要不斷迭代，要花大量時(shí)間和資金去試錯(cuò)，有的甚至提供研發(fā)經(jīng)費(fèi)給供應(yīng)商，所以后來(lái)者很難追趕。有些國(guó)產(chǎn)企業(yè)技術(shù)上達(dá)到了客戶標(biāo)準(zhǔn)，卻常年做備用品，最多也是小批量供貨，甚至很難得到試用機(jī)會(huì)。

國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)預(yù)計(jì)，2024年全球晶圓廠設(shè)備支出約920億美元，同比增長(zhǎng)21%。上述晶圓廠人士稱，按照產(chǎn)業(yè)規(guī)律，明年晶圓廠會(huì)走入一個(gè)擴(kuò)產(chǎn)周期，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求也會(huì)增長(zhǎng)。外部的禁令會(huì)倒逼國(guó)貨發(fā)展，給予國(guó)產(chǎn)設(shè)備商更多機(jī)會(huì)進(jìn)入大廠，但是由于產(chǎn)業(yè)本身的經(jīng)驗(yàn)性和客戶黏性，更換設(shè)備商的過(guò)程，對(duì)晶圓廠和最終用戶來(lái)說(shuō)都是一個(gè)陣痛期。

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